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半导体行业的过滤如何做
TANVI2024-06-24 TANVI280

半导体行业的过滤处理是一个复杂且精细的过程,主要涉及到湿法和干法刻蚀、气体输送、光刻、沉积、离子注入等多个工艺步骤。以下是关于半导体行业过滤处理的详细步骤和要点:


过滤器的构成:


半导体过滤器主要由过滤器壳体和滤芯组成。主流外壳材料包括316L不锈钢、镍、PTFE材料和哈氏合金等。过滤介质一般为聚丙烯、玻璃纤维、聚醚砜、PTFE、聚偏氟乙烯、尼龙、UPE等。


关键过滤工艺:


湿法刻蚀:


使用液体刻蚀介质,如具有化学反应性的溶液或酸碱混合液。关键指标包括刻蚀速率、选择比和方向性。过滤要求严苛,需验证过滤材质的耐腐蚀性和化学兼容性。


气体过滤:


气体过滤器是半导体过滤器中最大的细分,占有大约60%的份额。主要用于批量气体输送和其他工艺中,确保气体的纯净度。


湿电子化学品过滤:


在半导体制造过程中,高达20%的工艺步骤涉及湿电子化学品的清洗和晶圆表面处理。这些化学品在正式进入制程前需经过过滤处理,以达到ppt级别的纯度要求。


过滤器的选择与使用:


Mighty-G系列滤芯:


采用超高密度折叠技术,提供高过滤面积和出色的兼容性。精度达到0.003μm,满足高过滤要求。


EG系列滤芯:


适用于大宗气体过滤,具有极佳的化学兼容性和极低的析出水平。


特定过滤设备:


如蚌壳式弹簧快开袋式过滤器、不锈钢保安过滤器、三重过滤污水处理设备等,根据具体需求选择合适的过滤设备。


市场概况:


全球半导体过滤器市场销售额在2023年达到了3.32亿美元,预计2030年将达到6.52亿美元,年复合增长率(CAGR)为10.3%。


亚太是最大的市场,占有大约50%的份额,之后是北美和欧洲。半导体代工制造(电子半导体)是最大的应用,占有大约55%的份额。


注意事项:


在选择和使用半导体过滤器时,需考虑其材质、精度、兼容性、耐腐蚀性和化学兼容性等因素。过滤器的安装、维护和更换需遵循相关规范和标准,确保过滤效果和生产安全。


以上,半导体行业的过滤处理是一个复杂而精细的过程,需要选择合适的过滤器和设备,并遵循相关规范和标准进行操作和维护。