一、高精度过滤

过滤精度：半导体生产使用的化学品和气体精度要求极高，通常达到G4等级以上。过滤产品需要能够过滤掉极微小的颗粒和杂质，包括细菌、病毒等微生物，以确保流体的纯净度。例如，电子级异丙醇(IPA)产品的纯度通常在99.9%以上，且不含任何杂质或有害物质。

滤芯材料：采用高精度、低析出的滤芯材料，如聚四氟乙烯(PTFE)薄膜滤芯，其过滤精度可达到10nm以下，有效保障最少的物质释放，并对污染物进行绝对精度的稳定控制。

二、耐高温高压

温度适应性：半导体制造过程中涉及多种高温工艺，如薄膜沉积工艺中的工作温度覆盖200~400℃。因此，过滤产品需要能够耐受这些高温环境，不变形、不失效。

压力稳定性：在高压环境下，过滤产品需要保持稳定的过滤性能，不出现泄漏或破损现象。

三、低析出物

化学稳定性：过滤产品在与半导体生产过程中使用的化学品接触时，不能产生有害的析出物，以免污染产品。

材料选择：因此，需要选择化学稳定性好的材料作为滤芯基材，如聚四氟乙烯等。

四、耐腐蚀性

抗腐蚀能力：半导体制造过程中使用的化学品往往具有强腐蚀性，如酸碱溶液等。过滤产品需要具有优异的抗腐蚀能力，以延长使用寿命并减少维护成本。

五、高效过滤系统

多级过滤：在半导体生产的关键制程中，如特气柜管路传送系统、晶圆片在工艺腔室间的交互传送等，需要设置多层过滤装置，以确保流体的纯净度。

快速放气应用：在真空腔室快速放气过程中，需要采用特殊设计的扩散器，如Gasfaver扩散器，结合扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，以避免湍流吹起工艺腔室内的颗粒甚至是硅片。

六、环保与经济性

资源回收：半导体制造过程中会产生大量废水，需要采用有效的废水回收和处理系统，如Selfclear速可清+Dycera旋转陶瓷膜过滤系统，将废水处理达到可循环使用的标准，实现经济环保的双赢效果。

维护成本：选择长寿命、易更换的滤芯和过滤器，以降低维护成本和停机时间。

以上，半导体电子过滤的要求涉及高精度过滤、耐高温高压、低析出物、耐腐蚀性、高效过滤系统以及环保与经济性等多个方面。这些要求共同确保了半导体制造过程中的流体纯净度和产品质量。