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半导体电子有哪些过滤需求
TANVI2024-08-02 TANVI254

半导体电子在生产过程中面临着多种过滤需求,这些需求主要源于对制造环境的高洁净度要求以及对产品质量的严格控制。以下是半导体电子的主要过滤需求:


1. 空气中的气态分子级污染物(AMC)过滤


AMC定义:AMC包括酸、碱、聚合物添加剂、有机金属化合物、凝缩剂与添加剂等。


危害:AMC会在半导体制造的多个关键工艺上造成危害,如栅底氧化、薄膜、多晶硅和硅化物形成、接触成型、光刻等,导致产品良品率下降、性能退化及失效等问题。


过滤需求:半导体生产厂商需要使用AMC过滤器来吸附和过滤空气中的AMC,以确保生产环境的洁净度,从而提高产品质量和生产效率。


2. 微粒过滤


微粒来源:半导体生产过程中会产生微小的颗粒物,如尘埃、金属碎片等。


危害:这些微粒如果进入生产环境,可能会附着在晶圆表面,导致电路短路、开路或性能下降。


过滤需求:需要采用高效的微粒过滤器来去除空气中的微粒,保证生产环境的洁净度。


3. 化学气体过滤


化学气体种类:半导体生产过程中会使用到多种化学气体,如氟化氢、氯化氢等。


过滤需求:这些化学气体在使用过程中需要严格控制其浓度和纯度,以防止对设备和产品造成损害。因此,需要使用专门的化学气体过滤器来去除气体中的杂质和有害成分。


4. 湿度和温度控制


影响:湿度和温度的变化会对半导体材料的性能和稳定性产生影响。


过滤需求:通过调节生产环境的湿度和温度,确保半导体材料在最佳条件下进行加工和处理。这通常需要使用湿度和温度控制设备来实现。


5. 静电控制


静电危害:静电会对半导体材料造成损害,如击穿、放电等。


过滤需求:在生产环境中安装静电消除设备,如静电消除器、防静电地板等,以消除静电对半导体材料的潜在威胁。


以上,半导体电子在生产过程中面临着多种过滤需求,这些需求涵盖了空气中的气态分子级污染物、微粒、化学气体、湿度和温度控制以及静电控制等方面。为了满足这些需求,半导体生产厂商需要采用先进的过滤技术和设备来确保生产环境的洁净度和稳定性,从而提高产品质量和生产效率。